第969章 5nm工艺试生產
秘书接受完指令，就点了点头。
看著有了指令就去办事儿的员工，马斯克心中有了一个决定，要不就把这些人全都换成机器。
毕竟都是接受指令干活……
此刻他心里第一次生出一种失控感。
毕竟火箭上输了一城，接下来即將开拓欧洲市场也被撬了墙角，现在连人形机器人赛道，对方也在悄无声息间走在了前面。
沈飞这个人，比他预想的，要可怕得多。
……
与此同时，华星晶圆厂的无尘车间里，一个即將震惊世界的工艺，正在进行当中。
李家辉正带著流片团队来到这边。
距离上次来验证5nm工艺，已经过去了两个多月。
自从过年得到消息后，他除了研发新一代晶片、晶片架构就是在这几个办公室之间来回走动。
不过这两个多月，他倒是带著团队啃下了十几道工艺难题，把验证线的良品率从最初的32%，硬生生拉到了50%的临界线。
今天，是正式启动量產流片的日子。
沈飞已经在办公楼楼下等他。
“李院士，辛苦了。”沈飞伸手握手，眼神里也带著期待。
“分內的事。”李家辉笑了笑，又看了一下旁边的袁国庆，“数据我都带来了，50%的验证良品率，已经摸到大规模量產的门槛了。
今天流完片，就能知道实际量產水平到底怎么样。”
“是的，沈总，绝对能达到！”
说完两人又对视了一眼，毕竟5%10只是他们两人估测的最差成绩，结果可能要远超预期。
一行人，正在往前走。
厂区里比上次来时更热闹，新的生產线厂房正在收尾，设备正在紧急安装中。
毕竟等5nm工艺彻底跑通，这条线就要全速扩產。
至於7nm，必须要用国產设备顶上去，毕竟7nm依旧是先进水平，不能少。
换无尘服，风淋室除尘，一套流程走完，三人站在了晶圆生產车间的玻璃外。
车间里，机器臂正在运检
“这次是首批量產流片，一共投了二十片晶圆。”袁国庆指著里面的投料口，“工艺参数都是按验证线最优方案调的。
刻蚀、沉积、光刻三道关键工序，在李教授的带领下，我们前后改了七版参数，才把良率拉上来。”
沈飞点头，目光落在车间里的设备上。
整条5nm验证线，从光刻机到刻蚀机，九成以上都是国產设备。
这里面除了自己的技术突破以外，全部依靠统子。
不过，两条线还是有点少。
就像现在把这条线给改了，7nm那边就会受到一定的限制。
此时在某处把妹的系统忽然打了一个喷嚏，他总感觉自己被惦记了。
“风险大吗？”
“有。”李家辉和袁国庆两人几乎同时说道。
“验证线和量產线不一样，小批量测出来的良率，放大到量產往往会打折扣。
我心里预期是40%左右，能摸到45%就算超预期。”
说完之后，李家辉又单独匯报导:
“只要能稳定在40%以上，就能小批量供货。
边產边优化，慢慢往上爬。”
沈飞嗯了一声：“按你们的节奏来，不用急。
但有一点，明年星云六的上市节点不能动，晶片供应必须跟上。”
“放心。”李家辉听到这话瞬间保证道，“就算良率爬得慢，q4之前摸到60%没问题，绝对耽误不了新机备货。”
几人隔著玻璃看了一会儿。
首批晶圆顺利进入光刻工序，机械臂动作精准，没有出现任何异常。
“走吧，流片要等上一段时间，总不能一直站在这儿等。”李家辉笑著拍了拍玻璃，“先去会议室，我跟您说说后续的工艺叠代方案。
等晶圆出来，我们第一时间匯报给您。”
沈飞点头。
一行退出车间，一路聊到办公楼。
从5nm良率提升路径，聊到下一代3nm工艺的预研，再到车载晶片、机器人晶片的產能分配，足足聊了一下午。
…………
三天后结果出来，李家辉立刻派人前往晶圆厂。
毕竟首批二十片晶圆，昨晚刚刚走完所有工序，正式下线。
他的团队已经在测试车间待命，探针台、测试仪全部调试完毕，就等他来开箱。
“李院士，都准备好了。”团队负责人上前匯报，语气里带著紧张。
李家辉深吸一口气：“开吧。”
晶圆盒被小心翼翼地打开。
一片圆形的硅晶圆静静躺在盒里，上面密密麻麻排布著指甲盖大小的晶片晶粒，在灯光下泛著银亮的光泽。
“先测第一片。”
李家辉站在探针台旁，盯著屏幕。
工程师將晶圆放到设备上，探针缓缓落下，接触到晶片引脚。
屏幕上的数据开始跳动。
功能测试、功耗测试、算力测试，一项项跑过去。
“第一颗，正常。”
“第二颗，正常。”
“第三颗，算力不达標，废片。”
李家辉的情绪並没有任何变化。
测晶圆就是这样，一颗好一颗坏，心臟跟著数据起起落落。
一片晶圆上有几百颗晶片，要一颗颗测完，才能算出准確的良率。
如果一颗坏片就生气，那他估计活不到60岁……
时间一分一秒过去。
车间里只有测试设备还在工作，其他人都在祈祷，希望良品率高一点。
第一片晶圆测完。
工程师抬头，声音带著点激动：“李院士，第一片良率49%！”
李家辉悬著的心落了一半，良品率还算不错，但比他保守估计的50%差了一点，幸好没在沈总面前说大话。
不过这也算好的了，差距不大。
“继续测。”
李家辉有了底之后，这个工作就交给了其他人，三个小组同步进行，结果出来的很快。
第二片，53%。
第三片，57%。
第四片，58%。
一片接一片，数据陆续出来，李家辉脸上的神色越来越松。
但此刻他觉得自己像个倒霉蛋，毕竟其他人的良品率都比他高，难道他最近有点霉运缠身，不適合搞这些东西？
不过他没有多想，因为测到第十五片的时候，他已经能大概算出整体水平。
稳在55%上下，比他预想的最好结果还要好。
看著有了指令就去办事儿的员工，马斯克心中有了一个决定，要不就把这些人全都换成机器。
毕竟都是接受指令干活……
此刻他心里第一次生出一种失控感。
毕竟火箭上输了一城，接下来即將开拓欧洲市场也被撬了墙角，现在连人形机器人赛道，对方也在悄无声息间走在了前面。
沈飞这个人，比他预想的，要可怕得多。
……
与此同时，华星晶圆厂的无尘车间里，一个即將震惊世界的工艺，正在进行当中。
李家辉正带著流片团队来到这边。
距离上次来验证5nm工艺，已经过去了两个多月。
自从过年得到消息后，他除了研发新一代晶片、晶片架构就是在这几个办公室之间来回走动。
不过这两个多月，他倒是带著团队啃下了十几道工艺难题，把验证线的良品率从最初的32%，硬生生拉到了50%的临界线。
今天，是正式启动量產流片的日子。
沈飞已经在办公楼楼下等他。
“李院士，辛苦了。”沈飞伸手握手，眼神里也带著期待。
“分內的事。”李家辉笑了笑，又看了一下旁边的袁国庆，“数据我都带来了，50%的验证良品率，已经摸到大规模量產的门槛了。
今天流完片，就能知道实际量產水平到底怎么样。”
“是的，沈总，绝对能达到！”
说完两人又对视了一眼，毕竟5%10只是他们两人估测的最差成绩，结果可能要远超预期。
一行人，正在往前走。
厂区里比上次来时更热闹，新的生產线厂房正在收尾，设备正在紧急安装中。
毕竟等5nm工艺彻底跑通，这条线就要全速扩產。
至於7nm，必须要用国產设备顶上去，毕竟7nm依旧是先进水平，不能少。
换无尘服，风淋室除尘，一套流程走完，三人站在了晶圆生產车间的玻璃外。
车间里，机器臂正在运检
“这次是首批量產流片，一共投了二十片晶圆。”袁国庆指著里面的投料口，“工艺参数都是按验证线最优方案调的。
刻蚀、沉积、光刻三道关键工序，在李教授的带领下，我们前后改了七版参数，才把良率拉上来。”
沈飞点头，目光落在车间里的设备上。
整条5nm验证线，从光刻机到刻蚀机，九成以上都是国產设备。
这里面除了自己的技术突破以外，全部依靠统子。
不过，两条线还是有点少。
就像现在把这条线给改了，7nm那边就会受到一定的限制。
此时在某处把妹的系统忽然打了一个喷嚏，他总感觉自己被惦记了。
“风险大吗？”
“有。”李家辉和袁国庆两人几乎同时说道。
“验证线和量產线不一样，小批量测出来的良率，放大到量產往往会打折扣。
我心里预期是40%左右，能摸到45%就算超预期。”
说完之后，李家辉又单独匯报导:
“只要能稳定在40%以上，就能小批量供货。
边產边优化，慢慢往上爬。”
沈飞嗯了一声：“按你们的节奏来，不用急。
但有一点，明年星云六的上市节点不能动，晶片供应必须跟上。”
“放心。”李家辉听到这话瞬间保证道，“就算良率爬得慢，q4之前摸到60%没问题，绝对耽误不了新机备货。”
几人隔著玻璃看了一会儿。
首批晶圆顺利进入光刻工序，机械臂动作精准，没有出现任何异常。
“走吧，流片要等上一段时间，总不能一直站在这儿等。”李家辉笑著拍了拍玻璃，“先去会议室，我跟您说说后续的工艺叠代方案。
等晶圆出来，我们第一时间匯报给您。”
沈飞点头。
一行退出车间，一路聊到办公楼。
从5nm良率提升路径，聊到下一代3nm工艺的预研，再到车载晶片、机器人晶片的產能分配，足足聊了一下午。
…………
三天后结果出来，李家辉立刻派人前往晶圆厂。
毕竟首批二十片晶圆，昨晚刚刚走完所有工序，正式下线。
他的团队已经在测试车间待命，探针台、测试仪全部调试完毕，就等他来开箱。
“李院士，都准备好了。”团队负责人上前匯报，语气里带著紧张。
李家辉深吸一口气：“开吧。”
晶圆盒被小心翼翼地打开。
一片圆形的硅晶圆静静躺在盒里，上面密密麻麻排布著指甲盖大小的晶片晶粒，在灯光下泛著银亮的光泽。
“先测第一片。”
李家辉站在探针台旁，盯著屏幕。
工程师將晶圆放到设备上，探针缓缓落下，接触到晶片引脚。
屏幕上的数据开始跳动。
功能测试、功耗测试、算力测试，一项项跑过去。
“第一颗，正常。”
“第二颗，正常。”
“第三颗，算力不达標，废片。”
李家辉的情绪並没有任何变化。
测晶圆就是这样，一颗好一颗坏，心臟跟著数据起起落落。
一片晶圆上有几百颗晶片，要一颗颗测完，才能算出准確的良率。
如果一颗坏片就生气，那他估计活不到60岁……
时间一分一秒过去。
车间里只有测试设备还在工作，其他人都在祈祷，希望良品率高一点。
第一片晶圆测完。
工程师抬头，声音带著点激动：“李院士，第一片良率49%！”
李家辉悬著的心落了一半，良品率还算不错，但比他保守估计的50%差了一点，幸好没在沈总面前说大话。
不过这也算好的了，差距不大。
“继续测。”
李家辉有了底之后，这个工作就交给了其他人，三个小组同步进行，结果出来的很快。
第二片，53%。
第三片，57%。
第四片，58%。
一片接一片，数据陆续出来，李家辉脸上的神色越来越松。
但此刻他觉得自己像个倒霉蛋，毕竟其他人的良品率都比他高，难道他最近有点霉运缠身，不適合搞这些东西？
不过他没有多想，因为测到第十五片的时候，他已经能大概算出整体水平。
稳在55%上下，比他预想的最好结果还要好。